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CRF plasma 等離子清洗機(jī)

支持材料 測(cè)試、提供設(shè)備 試機(jī)

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氣流量對(duì)plasma等離子清洗機(jī)的影響有哪些呢

氣流量的大小對(duì)清洗的影響較大，等離子清洗機(jī)在清洗中，要保持一定的真空度(0.1-0.2torr)才能產(chǎn)生輝光進(jìn)行清洗，在0.1-0.2torr真空度下對(duì)于清洗的效(果)都是相同的。在真空度越低的狀態(tài)下，相對(duì)的輝光較強(qiáng)。在清洗的過(guò)程中，需要隨時(shí)將被清洗下來(lái)的污染物用真空泵抽走，同時(shí)也要隨時(shí)補(bǔ)充干凈的氣體，為保持一定的真空度，進(jìn)氣與抽出的氣體應(yīng)該處于一種動(dòng)態(tài)平衡的狀態(tài)，如果進(jìn)氣量過(guò)大，對(duì)真空泵的要求就高，這樣一來(lái)將浪費(fèi)氣體。另外，針對(duì)高要求的超清洗氣源應(yīng)先過(guò)濾，再輸入plasma等離子清洗機(jī)的腔體，這時(shí)的氣體流量也不可過(guò)大.

plasma等離子清洗機(jī)

plasma等離子清洗機(jī)可以被用于化學(xué)表面改性，如果將物質(zhì)的天然氧化層洗掉后，將物體拿出清洗腔它將會(huì)被再次氧化。不同的氣體將會(huì)對(duì)物體表面產(chǎn)生不同的作用。(氧氣和空氣能氧化物體而氫氣和惰性氣體則不會(huì))注意：如果用氧氣來(lái)清洗，應(yīng)使用專用的真空泵。等離子清洗機(jī)可被用于植入物的清洗并改善其粘附性。注意如果你將一個(gè)干凈的物體和一個(gè)較臟的物體同時(shí)放入清洗腔，如果清洗時(shí)間不夠或是氣體流量不強(qiáng)，有可能較臟物體被洗下來(lái)的污染物會(huì)附著在干凈物體上。

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