支持材料 測試、提供設(shè)備 試機
20年專注等離子清洗機研發(fā)生產(chǎn)廠家
20年專注等離子清洗機研發(fā)生產(chǎn)廠家
從全球市場銷售份額來看,單晶圓清洗設(shè)備在2008年之后超過自動清洗臺成為主要的清洗設(shè)備,而這一年正是行業(yè)引入45nm節(jié)點的時間。根據(jù)ITRS,2007年致2008年是45nm工藝節(jié)點量產(chǎn)的開始。松下、英特爾、IBM、三星等紛紛于此時段開始量產(chǎn)45nm。2008年底,中芯國(際)獲得了IBM批量生產(chǎn)45納(米)工藝的授(權(quán)),成為中國首(家)向45nm邁進的中國半導(dǎo)體公司。
根據(jù)市場對半導(dǎo)體估計,就每月生產(chǎn)10萬片晶圓的20nm的DARM廠來說,產(chǎn)量下降1%將導(dǎo)致每年利潤減少30致50百萬美元,而邏輯芯片廠商的損失更高。此外,產(chǎn)量的降(低)還將增加廠商原本已經(jīng)十(分)高昂的資本支出。因而,工藝的優(yōu)化和控制是半導(dǎo)體生產(chǎn)制程的重中之重,廠商對于半導(dǎo)體設(shè)備的要求也越來越高,清洗步驟尤其如此。在20nm及以上領(lǐng)域,清洗步驟數(shù)量超過所有工藝步驟數(shù)量的30%。而從16/14nm節(jié)點開始,由3D晶體管結(jié)構(gòu)、前后端更復(fù)雜的集成、EUV光刻等因素推動,工藝步驟的數(shù)量增加得很明(顯),對清洗工藝和步驟的要求也將明(顯)增加。
并且,在2008年前后兩個階段中,市場份額很高的清潔設(shè)備走勢均與半導(dǎo)體設(shè)備銷售額走勢保持一致,體現(xiàn)出清洗設(shè)備需求的穩(wěn)定性;并且在單晶圓清洗設(shè)備主導(dǎo)市場后,其占總體銷售額的比例明(顯)提(升),體現(xiàn)出單晶圓清洗設(shè)備和清洗工藝在半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈中的地位提(升)。這一市場份額變遷是工藝節(jié)點不斷縮小的必然性結(jié)果。