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CRF plasma 等離子清洗機(jī)

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材質(zhì)表層清潔—crf等離子火焰處理機(jī)的3種工作原理

材質(zhì)表層清潔—crf等離子火焰處理機(jī)的3種工作原理:
       等離子,即物質(zhì)的第四類特征,是由一些電子被剝奪的原子和電離后形成的自由電子構(gòu)成的離子氣體特征物質(zhì)。其能量的范圍大于氣體、液體和固體物質(zhì)。電子、離子和中性粒子具有一定的能量分布。當(dāng)它們與材質(zhì)表層發(fā)生沖擊時,它們會將能量傳遞給材質(zhì)表層的分子和原子,并形成一系列的物理和化學(xué)過程。其功能是實現(xiàn)物體表層的超清潔清潔、物體表層活化、蝕刻加工、精確度和等離子表層涂覆。

等離子火焰處理機(jī)

(1)crf等離子火焰處理機(jī)對材質(zhì)表層的蝕刻加工功能
物理等離子中的大量離子、百激發(fā)態(tài)分子、自由基等活性粒子功能于固體樣品表層,去除表層原有的污染物和雜質(zhì),形成腐蝕功能,使樣品表層粗糙,形成許多細(xì)坑,增加樣品比表面。提高固體表層的濕潤性能。
(2)crf等離子火焰處理機(jī)激活鍵能,交聯(lián)
等離子中的粒子能量為0~20ev,而高聚物中的絕大多數(shù)鍵可以是0~10ev。因此,等離子功能于固體表層后,可以斷裂固體表層的原始化學(xué)鍵。等離子中自由基中的這些鍵形成網(wǎng)狀交聯(lián)結(jié)構(gòu),極大地激活了表面活性。
(3)crf等離子火焰處理機(jī)形成新的官能團(tuán)
倘若將反應(yīng)回性氣體引入放電氣體,則復(fù)雜的化學(xué)反應(yīng)將發(fā)生在活性材質(zhì)表層并引入新的官能團(tuán),如碳?xì)浠衔铩被?、羧基等。這些官能團(tuán)是活性基團(tuán),可以顯著提高答案材質(zhì)的表面活性。

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