等離子技術是一新興的領域，該領域結合等離子物理、等離子化學和氣固相界面的化學反應，此為典型的高科技產(chǎn)業(yè)，需跨多種領域，包括化工、材料和電機，因此將極(具)挑戰(zhàn)性，也充滿機會，由于半導體和光電材料在未來得快速發(fā)展中離不開等離子清洗。等離子清洗機已應用于各種電子元件的制造，可以確信，沒有等離子清洗機及其清洗技術，就沒有今天這么發(fā)達的電子、資訊和通訊產(chǎn)業(yè)。此外，等離子清洗機及其清洗技術也應用在光學工業(yè)、機械與航天工業(yè)、高分子工業(yè)、污染防治工業(yè)和量測工業(yè)上，而且是產(chǎn)品提(升)的關鍵技術、比如說光學元件的鍍膜、延長模具或加工工具壽命的抗磨耗層，復合材料的中間層、織布或隱性鏡片的表面處理、微感測器的智造，超微機械的加工技術、人工關節(jié)、骨骼或心臟瓣膜的抗摩耗層等皆需等離子技術的進步，才能開發(fā)完成。

       在化學反應里常用的氣體有氫氣（H2）、氧氣（O2）、四氟化碳（CF4）等，這些氣體在電漿內(nèi)反應成高活性的自由基，其方程式為：這些自由基會進一步與材料表面作反應。其反應機理主要是利用等離子體里的自由基來與材料表面做化學反應，在壓力較高時，對自由基的產(chǎn)生較有利，所以若要以化學反應為主時，就必須控制較高的壓力來進行反應。